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层流式

层流式空气气流运动成一平均之直线型,空气由笼盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式合用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:

乱流式

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上,可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化出产线为最相宜使用。药品、食物业界及半导体业界均合用。

(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上,认为出产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。